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一种抽气装置、抽气方法以及多腔等离子体处理器与流程

来源: 浏览: 8次  更新时间:2021-12-02 10:52

一种抽气安装、抽气办法以及多腔等离子体处置器与过程
本请求波及半导体器件创造范围更加波及一种抽气安装、抽气办法以及多腔等离子体处置器。
背景本领
:在半导体器件的制备过程中不妨在真空情况下闭于器件进行处置在线网校系统不妨在真空情况下闭于器件进行处置比方半导体器件中薄膜的产生、闭于薄膜的等离子体刻蚀等因此闭于半导体器件进行处置时半导体器件不妨置于腔体中腔体常常会对接抽气安装而实行真空从而为半导体器件供给真空情况。姑且可认为多个腔体摆设一套抽气安装从而共时为多个腔体供给真空情况简直的多个腔体不妨分别与中空的混共腔对接混共腔对接摆阀摆阀与真空泵对接在摆阀具备必定开度时真空泵可认为混共腔供给矮气压多个腔体中的氛围、反应废除、戴电粒子等流向矮压的混共腔如许多个腔体中的气压随之降矮。然而这种降矮多个腔体的办法中多个腔体中的气体流向矮压的混共地区大概会因为热疏通而爆发互窜引导腔体内的气体氛围以及气压状况受其他腔体的效率如许不必处腔体情况的宁静效率该腔体内进行的半导体器件处置品质。本领实行因素:有基于此本请求实行例供给了一种抽气办法及安装不妨供给宁静的腔体情况普及腔体内进行的半导体器件的处置品质。一种抽气安装其特性在于包括:真空泵、摆阀、混共腔以及所述混共腔中的分割零件;所述分割零件将所述混共腔分为多身材腔体所述多身材腔体用于分别对接多个待处置腔体;所述摆阀对接所述混共腔和所述真空泵;所述摆阀包括阀板和摆阀主体;所述分割零件与所述摆阀对接在所述摆阀具备摆阀开齿时所述分割零件将所述摆阀开齿分为多身材开齿所述多身材开齿分别正闭于所述多身材腔体;所述摆阀开齿由所述阀板相闭于于所述摆阀主体的转化产生所述分割零件的形状依据所述阀板的转化路途决定。可选的闭于应于所述摆阀开齿的多个面积所述多身材开齿之间的面积分别小于大概等于预设值。可选的所述预设值小于大概等于10%。可选的多身材腔体、所述子开齿和所述待处置腔体的数目为2所述分割零件为挡板。可选的所述挡板在笔直所述摆阀开齿地方平面的平面内出现为直线、曲线大概折线。可选的所述分割零件在与所述摆阀对接的平面内的形状依据所述阀板的转化路途决定。可选的所述分割零件在与所述摆阀对接的平面内出现为曲线所述曲线为以所述阀板的转化核心为圆心、以所述转化核心与所述摆阀核心的隔绝为半径的圆弧。可选的所述分割零件在与所述摆阀对接的平面内出现为折线产生所述折线的各个线段与所述阀板的转化核心的隔绝普遍所述折线经过所述摆阀核心。可选的所述分割零件在与所述摆阀对接的平面内出现为直线所述直线经过摆阀核心且与所述摆阀核心与所述阀板的转化核心的连线笔直。可选的所述摆阀开齿的面积基于所述待处置腔体的气压乞求决定。一种抽气办法其特性在于运用如上述的抽气安装所述办法包括:基于所述待处置腔体的气压乞求决定所述摆阀开齿的面积以便运用所述真空泵降矮所述待处置腔体的气压。本请求实行例供给了一种多腔等离子体处置器包括多个相邻陈设的等离子体处置腔体以及所述的抽气安装。与现有本领比拟本请求起码具备以下便宜:本请求实行例供给了一种抽气安装、抽气办法以及多腔等离子体处置器个中抽气安装包括:真空泵、摆阀、混共腔以及混共腔中的分割零件分割零件将混共腔分为多身材腔体每一身材腔体分别对接一个待处置腔体摆阀对接混共腔和真空泵摆阀包括阀板和摆阀主体分割零件与摆阀对接在摆阀具备摆阀开齿时分割零件将摆阀开齿分为多身材开齿每一身材开齿分别正闭于一身材腔体摆阀开齿由阀板相闭于于摆阀主体的转化产生分割零件的形状依据阀板的转化路途决定。该安装经过安排阀板相闭于于摆阀主体的转化安排摆阀开齿的面积依据阀板的转化路途决定分割零件的形状从而决定摆阀开齿中与子腔体正闭于的子开齿的面积从而运用真空泵为与子腔体对接的待处置腔体供给矮气压共时因为阀板将混共腔分割开不妨制止不共的待处置腔体内的气体爆发互窜的问题普及腔体情况的宁静性以及在待处置腔体内进行的半导体器件的处置品质。附图证明为了更领会地证明本请求实行例大概现有本领中的本领筹备底下将闭于实行例大概现有本领刻画中所须要运用的附图作大概地引睹不言而喻地底下刻画中的附图只是是本请求中记录的一些实行例闭于于本范围普遍本领人员来道在不付出创造性处事的前提下还不妨依据这些附图赢得其他的附图。图1为本请求实行例供给的一种抽气安装的构造表示图;图2(a)、图2(b)和图2(c)为本请求实行例供给的一种摆阀的不共开度的表示图;图3(a)、图3(b)和图3(c)为本请求实行例供给的另一种摆阀的不共开度的表示图;图4为本请求实行例供给的待处置腔体内气压比值的折线图。简直实行办法为使本创造的上述手段、特性和便宜不妨更加明显易懂底下共同附图闭于本创造的简直实行办法干留神的证明。鄙人面的刻画中论述了许多简直细节以便于充溢领会本创造然而是本创造还不妨采用其他不共于在此刻画的其他办法来实行本范围本领人员不妨在不违反本创造内在的情景下干好像实行因此本创造不受底下果然的简直实行例的节制。其次本创造共同表示图进行留神刻画在胪陈本创造实行例时为便于证明展现器件构造的剖面图会不依普遍比率作局部夸大而且所述表示图不过示例其在此不应节制本创造保护的范畴。其他在本质创造中应包括长度、宽度及深度的三维空间尺寸。姑且在半导体器件的制备过程中不妨在真空情况下闭于器件进行处置常常不妨经过对接抽气安装来为半导体器件所处的腔体供给真空情况简直实行时可认为多个腔体供给一套抽气安装该抽气安装不妨共时为降矮多个腔体的真空度。多个腔体分别与中空的混共腔对接混共腔对接摆阀摆阀对接真空泵在摆阀具备必定开度时真空泵不妨经过摆阀开齿为混共腔供给矮气压多个腔体中的气体流向混共腔从而共时降矮多个腔体中的气压。然而在降矮多个腔体的气压的办法中多个腔体中的气体流向矮压的混共地区时大概会因为热疏通而爆发互窜引导不共腔体内的气压氛围以及气压状况彼此效率不必处腔体情况的宁静效率该腔体内进行的半导体器件的处置品质。为了处理以上本领问题本请求实行例供给了一种抽气安装包括:真空泵、摆阀、混共腔以及混共腔中的分割零件分割零件将混共腔分为多身材腔体多身材腔体用于分别对接多个待处置腔体摆阀对接混共腔和真空泵摆阀包括阀板和摆阀主体分割零件与摆阀对接在摆阀具备摆阀开齿时分割零件将摆阀开齿分为多身材开齿多身材开齿分别正闭于多身材腔体摆阀开齿由阀板相闭于于摆阀主体的转化产生分割零件的形状依据阀板的转化路途决定。该安装经过度割零件将混共腔分为多身材腔体每一身材腔体与一个待处置腔体对接待处置腔体内的气体分别流向混共腔中闭于应的子腔体使得不共的待处置腔体内的气体不会爆发互窜。混共腔和真空泵之间对接有摆阀摆阀包括阀板和摆阀主体摆阀具备摆阀开齿时真空泵经过摆阀开齿抽取混共腔内的气体降矮混共腔内的气压从而降矮待处置腔体内的气压。而分割零件与摆阀对接将摆阀开齿分为多身材开齿子开齿正闭于子腔体如许真空泵不妨经过各身材开齿分别抽取正闭于的子腔体中的气体分别降矮各身材腔体的气压以及与子腔体对接的待处置腔室的气压。本请求实行例中不妨经过阀板相闭于于摆阀主体的转化路途决定分割零件的形状从而决定每一身材开齿在摆阀开齿中的相闭于面积子开齿闭于应于子腔体子腔体对款待处置腔体子开齿的面积效率待处置腔体的矮压状况子开齿面积越大待处置腔体内的气压越矮因而不妨经过决定分割零件的形状来决定子开齿在摆阀开齿中的相闭于面积从而决定各个待处置腔体内的气压状况。为了更好地领会本请求的本领筹备和本领效验以下将共同附图闭于简直的实行例进行留神的刻画。参照图1所示为本请求实行例供给的一种抽气安装包括:真空泵101、摆阀102、混共腔103以及混共腔103中的分割零件104分割零件104将混共腔103分为多身材腔体多身材腔体分别对接多个待处置腔体105。待处置腔体105是半导体器件的产生过程中的反应腔在半导体器件的创造过程中须要闭于待处置腔室105进行真空处置从而降矮待处置腔室105的真空度;天然待处置腔体105也不妨是其他场景下须要供给真空情况的腔体在此不干节制。待处置腔体105的数目可认为二个也不妨是二个以上。多个待处置腔体105不妨是不共的反应腔也不妨是普遍反应腔中的多个反应室多个反应室不妨共时进行沟通的工艺过程也不妨进行不共的工艺过程多个待处置腔体105中不妨具备沟通的气压也不妨具备不共的气压。举例来说多个待处置腔体105不妨都是闭于薄膜的等离子体刻蚀的反应腔在刻蚀的过程中须要保护反应腔的矮气压。简直的等离子体在电场的效率下向薄膜疏通刻蚀薄膜表面刻蚀过程中爆发的气体须要抽取到待处置腔体105之外预防待处置腔体105内的气压增大而效率等离子体的刻蚀效验。本请求实行例中待处置腔体105不妨与混共腔103经过对接孔106对接参照图1所示混共腔103不妨对接真空泵101运用真空泵101为混共腔103供给矮压情况如许待处置腔体105中的气压会经过对接孔106流向混共腔103实行了闭于待处置腔体105的降压。混共腔103和真空泵101不妨经过摆阀102对接经过摆阀102控制混共腔103和真空泵101是否连通在摆阀具备必定开齿时混共腔103和真空泵101连通摆阀开齿越大混共腔103和真空泵之间的通道截面积越大。待处置腔体105内的气体在混共腔103内汇合被真空泵101抽取从而降矮待处置腔体105内的气压而经过在混共腔103和真空泵101之间树立摆阀102实行待处置腔体105内压力的控制。摆阀102不妨包括阀板112和摆阀主体122参照图图2(a)、图2(b)和图2(c)、图3(a)、图3(b)和图3(c)所示阀板112和摆阀主体122之间具备固定点阀板112不妨以固定点为核心相闭于于摆阀主体122转化疏通在阀板112与摆阀主体122虚假脚沉当令摆阀102爆发摆阀开齿在阀板112和摆阀主体122之间具备地位100时摆阀具备较小的摆阀开齿而从地位100至地位900跟着阀板112的转化阀板112和摆阀主体122的沉合面积越来越小摆阀开齿越来越大。真空泵101经过摆阀开齿抽取混共腔103内的气体实行多个待处置腔体105的降压不妨领会的是降压后的多个待处置腔体105中的气压不妨是沟通的。在简直的实行例中摆阀开齿不妨基于多个待处置腔体105的气压乞求决定在待处置腔体105内须要较大的气压时树立较小的摆阀开齿在待处置腔体105内须要较小的气压时树立较大的摆阀开齿。然而上述闭于多个待处置腔体105进行降压的过程中因为多个待处置腔体105中的气体流向矮压的混共腔103而在混共腔103中汇合若多个待处置腔体105内的压力不共比方多个待处置腔体105中的一局部腔体内不进行刻蚀大概镀膜处置而存留较矮的气压另一局部腔体须要进行刻蚀大概镀膜处置而存留较高的气压大概者多个待处置腔体105分别进行不共的安排处置引导里面气压不共此时多个待处置腔体105中的气体验在混共腔103中汇合后因为热疏通大概爆发互窜引导多个待处置腔体105之间的气压氛围以及气压状况彼此效率不必处待处置腔体105中的情况宁静性。因此本请求实行例中不妨运用分割零件104将混共腔103分为多身材腔体每一身材腔体分别对接一个待处置腔体105待处置腔体105中的气体流向与其对接的子腔体后被抽走如许待处置腔体105内的气体在流向混共腔103后不会爆发互窜彼此之间不会效率。分割零件104还不妨与摆阀102对接在摆阀102具备摆阀开齿时分割零件104将摆阀开齿分为多身材开齿多身材开齿分别正闭于多身材腔体。摆阀102与真空泵101对接在摆阀102具备摆阀开齿时真空泵101不妨经过正闭于子腔体的子开齿抽取混共腔103中各身材腔体的气体从而分别闭于与子腔体对接的待处置腔体105进行降压。本请求实行例中不妨依据待处置腔体105内所需的气压决定各身材开齿的相闭于面积多身材开齿的面积不妨沟通也不妨不共比方多个待处置腔体内105进行不共的处置安排时须要不共的气压不妨将多身材开齿的面积树立为不共的面积天然多身材开齿的面积不妨具备大概沟通的比值在多个待处置腔体105内进行沟通的安排处置时须要沟通大小的气压不妨将多身材开齿的面积树立为大概沟通的面积。在简直的实行例中多身材开齿之间的面积分别小于大概等于预设值如许多个待处置腔体105内的气压也大概沟通。在本实行例中预设值不妨小于大概等于10%比方可认为5%3%大概1%等。在本请求实行例中不妨依据阀板112的转化路途决定分割零件104的形状比方依据阀板112的转化核心以及摆阀102的核心决定分割零件104的形状分割零件104的形状决定了多身材开齿之间的相闭于面积而摆阀102中阀板112和摆阀主体122之间的地位闭系决定了多身材开齿的总面积大小从而决定与子开齿正闭于的子腔体对接的待处置腔室105的气压。动作一种示例在本实行例中多身材腔体、子开齿和待处置腔体的数目可认为2分割零件104为挡板挡板在笔直摆阀开齿地方平面的平面内不妨出现的形状不效率子开齿的相闭于面积因此可认为直线、曲线大概折线比方挡板可认为笔直摆阀102树立的平面板大概曲面板。不妨领会的是挡板在笔直摆阀开齿地方平面内的平面内出现的形状效率多身材腔体的相闭于体积比方曲面板的形状效率分割后的二身材腔体的本质体积。挡板在与摆阀对接的平面内不妨出现为直线、曲线大概折线挡板的形状效率各身材开齿的相闭于面积底下进行简直证明。挡板在与摆阀对接的平面内不妨出现为直线参照图2(a)、图2(b)和图2(c)所示为本请求实行例中一种摆阀102不共开度的表示图虚线展现挡板相闭于于摆阀102的地位个中阀板112与摆阀主体122的各个相闭于地位下与二身材腔体正闭于的摆阀开齿中的子开齿面积不妨不共挡板104竖直等分混共腔103产生二身材腔体且竖直等分摆阀开齿产生二身材开齿从图2(a)、图2(b)和图2(c)中不妨瞅出直线左侧的子开齿闭于应左侧的子腔体直线右侧的子开齿闭于应右侧的子腔体。本请求实行例中不妨闭于不共摆阀开度下摆阀开齿以及子开齿的面积进行测量不妨领会的是不共的摆阀开度闭于应不共的摆阀开齿面积摆阀开度越大摆阀开齿面积越大。参照表1所示为不共摆阀开度下摆阀开齿的面积(openarea)以及二身材开齿面积s1和s2的表示图面积的单元均为mm2。个中不共摆阀开度不妨经过阀板112与摆阀主体122的相闭于地位(bladeposition)展现包括地位100、200、300、400、500、600、700、800、900s1为挡板右侧的子开齿的面积s2为挡板左侧的子开齿的面积s1+s2为摆阀开齿的面积s1/(s1+s2)展现s1占摆阀开齿面积的比率。很明显s1的面积小于s2的面积在摆阀开齿面积较小时这种分别更加明显。表1不共摆阀开度下摆阀开齿以及子开齿的面积地位1002003004005006007008009001000s1+s22646.513684.925249.83643146899.856415.964756.77168276865.479422.6s1212.73187.37682.113031.118796.924564.529938.734546.938013.839711.3s22433.810497.617567.723399.928102.931851.43481837135.138851.639711.3s1/(s1+s2)8.04%23.29%30.42%35.77%40.08%43.54%46.23%48.19%49.46%50.00%在本请求实行例中为了保护待处置腔室105的无氧情况还不妨向待处置腔室105通入气体比方可认为氮气(n2)、氩气(ar)等因此不妨进一步测量不共摆阀(pendulumvalvepv)开度下不共的气体流速下闭于应的二个待处置腔体105内的气压参照表2所示为不共摆阀开度下不共氮气流速闭于应的待处置腔体的气压此地以地位100、300、500、700、900为例进行证明氮气流量的单元为尺度立方厘米每分钟(standardcubiccentimeterperminutesccm)气压单元为mtorr个中“/”前的是与s2正闭于的子腔体对接的待处置腔体的气压“/”后的是与s1正闭于的子腔体对接的待处置腔体的气压由此可知与s1正闭于的子腔体对接的待处置腔体的气压终究大于大概等于与s2正闭于的子腔体对接的待处置腔体的气压。由此可知隔板的存留引导二个待处置腔体105的气压在一些摆阀开度下爆发了分别且摆阀开度越小气压分别越明显比方在地位300的压力差达到7.5%。表2不共摆阀开度下不共气体流速闭于应的待处置腔体的气压本请求实行例中还不妨依据阀板112的转化路途决定分割零件104在与摆阀102对接的平面内的形状和地位从而更加合理调配各身材开齿的面积分别满脚待处置腔体105内的气压需要。简直的不妨令各身材开齿的面积在不共的摆阀开度下具备固定的比值如许不妨宁静的为每个待处置腔体105普及下压情况比方不妨令各身材开齿的面积保护在1:1如许不妨使每个待处置腔体105的气压十分。底下临于于何如样实行各身材开齿的面积比率为1:1的情景本范围本领不妨依据本质情景基于阀板112的转化路途安排其他形状的挡板以使各身材开齿的面积保护在其他比值。动作一种大概的实行办法分割零件104也不妨在与摆阀102对接的平面内出现为直线直线经过摆阀102核心且与摆阀102核心与阀板112的转化核心的连线笔直该直线将摆阀开齿分割为二局部而因为直线的地位与摆阀的转化核心相闭闭于于不共大小的摆阀开齿分割而成子开齿的相闭于面积较为亲近多个待处置腔体105的气压也较为亲近。动作再一种大概的实行办法分割零件104不妨在与摆阀102对接的平面内出现为折线产生所述折线的各个线段与所述阀板112的转化核心的隔绝普遍折线经过摆阀102核心。该折线将摆阀开齿分割为二局部共时闭于于不共大小的摆阀开齿分割而成子开齿的相闭于面积较为亲近多个待处置腔体105的气压也较为亲近。动作另一种大概的实行办法分割零件104在与摆阀102对接的平面内出现为曲线该曲线可认为以阀板112的转化核心为圆心、以转化核心和摆阀102核心的隔绝为半径的圆弧。参照图4所示为本请求实行例中摆阀102的表示图中央的曲线展现挡板相闭于于摆阀102的地位个中阀板112与摆阀主体122的各个相闭于地位下与二身材腔体正闭于的摆阀开齿中的子开齿面积不妨不共挡板等分混共腔103产生二个字腔体且等分摆阀开齿产生二身材开齿从图4不妨瞅出曲线左侧的子开齿闭于应左侧的子腔体曲线右侧的子开齿闭于应右侧的子腔体在摆阀开齿的开度不共的情景下二身材腔体相闭于的子开齿的面积大小保护沟通大概邻近。本请求实行例中不妨闭于不共摆阀开度下摆阀开齿以及子开齿的面积进行测量参照表3所示表3为不共摆阀开度下下摆阀开齿的面积(openarea)以及二身材开齿面积s1和s2的表示图面积的单元均为mm2。个中不共摆阀开度不妨经过阀板112与摆阀主体122的相闭于地位(bladeposition)展现包括地位100、200、300、400、500、600、700、800、900s1为挡板右侧的子开齿的面积s2为挡板左侧的子开齿的面积s1+s2为摆阀开齿的面积s1/(s1+s2)展现s1占摆阀开齿面积的比率。由此不妨瞅出二身材开齿面积s1和s2基究竟通可认为多个待处置腔体105供给基础普遍的气压情况。表3不共摆阀开度下摆阀开齿以及子开齿的面积地位1002003004005006007008009001000s1+s22646.513684.925249.83643146899.856415.964756.77168276865.479422.6s11571.827427.1413229.218800.823949.728636.73274936155.338691.639922.2s21074.726257.7412020.617630.222950.127779.232007.835526.738173.939500.4s1/(s1+s2)59.39%54.27%52.39%51.61%51.07%50.76%50.57%50.44%50.34%50.27%在本请求实行例中为了保护待处置腔室105的无氧情况还不妨向待处置腔室105通入气体比方可认为氮气(n2)、氩气(ar)等因此不妨进一步测量不共摆阀开度下不共气体流速下闭于应的二个待处置腔体105内的气压参照表4所示为不共摆阀开度下不共氮气流速闭于应的待处置腔体的气压此地以地位100、300、500、700、900为例进行证明氮气流量的单元为sccm气压单元为mtorr个中“/”前的是与s2正闭于的子腔体对接的待处置腔体的气压“/”后的是与s1正闭于的子腔体对接的待处置腔体的气压由此可知与s1正闭于的子腔体对接的待处置腔体的气压终究亲近于与s2正闭于的子腔体对接的待处置腔体的气压。由此可知不共气体流速下二个待处置腔体105内的气压基究竟通压力差小于2%。表4不共摆阀开度下不共氮气流速闭于应的待处置腔体的气压本实行例中还测量了运用不共挡板之后二个待处置腔体105中的气压的比值状况并将气压比值画制成折线图参照图4所示为本请求实行例中不共挡板不妨实行的待处置腔体的气压比值不妨瞅出挡板在摆阀102对接的平面内出现为曲线时二个待处置腔体105内的气压差在2%内挡板竖直等分摆阀主体122时二个待处置腔体105内的气压差达到7.5%因此不妨运用曲面板动作挡板从而为多个待处置腔体105供给沟通大概邻近的气压情况。参照表5所示为运用不共挡板时多个工艺前提下刻蚀速率的比闭于情景包括仅源电源(sourceonly)的工艺前提、高气压矮偏压的工艺前提和尺度氧化物(oxidestd)的工艺前提个中a1和a2分别展现待处置腔体105中与s1正闭于的子腔体对接的待处置腔体和与s2正闭于的子腔体对接的待处置腔体的刻蚀速率mismatch分别展现了a1和a2的分别值个中现有本领为平面板竖直等分摆阀开齿时的尝试截止本请求为以曲面板等分摆阀开齿为例的尝试截止不妨瞅出平面板竖直等分摆阀开齿时二个待处置腔体105内的刻蚀速率差高达1.89%而曲面板等分摆阀开齿时二个待处置腔体105内的刻蚀速率差在1%内。表5运用不共挡板多个工艺前提下刻蚀速率的比闭于本请求实行例供给了一种抽气安装包括:真空泵、摆阀、混共腔以及混共腔中的分割零件分割零件将混共腔分为多身材腔体每一身材腔体分别对接一个待处置腔体摆阀对接混共腔和真空泵摆阀包括阀板和摆阀主体分割零件与摆阀对接在摆阀具备摆阀开齿时分割零件将摆阀开齿分为多身材开齿每一身材开齿分别正闭于一身材腔体摆阀开齿由阀板相闭于于摆阀主体的转化产生分割零件的形状依据阀板的转化路途决定。该安装经过安排阀板相闭于于摆阀主体的转化安排摆阀开齿面积依据阀板的转化路途决定分割零件的形状从而决定摆阀开齿中与子腔体正闭于的子开齿的面积从而运用真空泵为与子腔体对接的待处置腔体供给矮气压共时因为阀板将混共腔分割开不妨制止不共的待处置腔体内的气体爆发互窜的问题普及腔体情况的宁静性以及在待处置腔体内进行的半导体器件的处置品质。上述闭于本请求实行例的抽气安装进行了留神刻画其他本请求还供给了运用上述抽气安装进行抽气处置的抽气办法包括:基于所述待处置腔体105的气压乞求决定摆阀开齿以便运用真空泵101降矮所示待处置腔体105的气压。本请求还供给了一种多腔等离子体处置器包括:多个相邻排布的等离子体处置腔体以及上述所述的抽气安装。以上所述仅是本请求的较好实行例结束并非闭于本请求作所有办法上的节制。虽然本请求已以较好实行例揭穿如上然而并非用以规定本请求。所有熟悉本范围的本领人员在不摆脱本请求本领筹备范畴情景下都可运用上述揭穿的办法和本领实质闭于本请求本领筹备干出许多大概的变化和掩饰大概建改为雷共变革的等效实行例。因此但凡是未摆脱本请求本领筹备的实质依据本请求的本领本质闭于以上实行例所干的所有大概建改、雷共变革及掩饰均仍属于本请求本领筹备保护的范畴内。姑且第1页12

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