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挡液板结构与以之制备的蚀刻设备及蚀刻方法与流程

来源: 浏览: 5次  更新时间:2021-12-02 10:51

挡液板构造与以之制备的蚀刻设备及蚀刻办法与过程

本创造有闭于一种挡液板构造与以之制备的蚀刻设备及蚀刻办法更加是指一种实用于湿式蚀刻机的挡液排液功效且减少其透气性以降矮产品耗费的挡液板构造与以之制备的蚀刻设备以及蚀刻办法。



背景本领:

请参阅图1所示1700网站分类目录网址以及蚀刻办法。



背景本领:

请参阅图1所示为顽固挡液板构造的完全树立表示图个中一实心pvc板态样的挡液板构造a树立于一湿式蚀刻机(图式未标示)内重要用以阻碍一蚀刻药液(图式未标示)闭于树立于该挡液板构造a下方的基板(图式未标示)的喷溅而形成蚀刻不均匀的局面而且在湿式蚀刻的制程办法中该基板树立于二风刀b之间当该基板树立于一输送安装(图式未标示)而由该挡液板构造a的左方接收蚀刻药液蚀刻后挪动至风刀b之间该等风刀b再喷出一气体c到该基板的表面以将该基板表面残留的蚀刻药液吹除;然而当在该等风刀b进行吹气的状况下容易在该挡液板构造a下方产生微弱的真空空间而产生涡流并形成真空吸板的问题;因此何如样灵验借由革新的硬件安排真实达到保有本始挡液板的挡液效验以及减少透气性以废除真空以缩小因真空吸板引导的基板刮伤大概破片危害还是湿式蚀刻机等相闭财产开拓业者与相闭探究人员需持续全力克服与处理的问题。



本领实行因素:

本创造重要手段为供给一种挡液板构造与以之制备的蚀刻设备及蚀刻办法更加是指一种实用于湿式蚀刻机的挡液排液功效且减少其透气性以降矮产品耗费的挡液板构造与以之制备的蚀刻设备以及蚀刻办法重要借由具备复数个透露孔的挡液板构造配搭风刀安装的硬体安排灵验使风刀安装吹出的气体得以经过透露孔透露并运用(水点的表面弛力局面预防(水点由透露孔降落形成基板显影不均等格外 格外局面真实达到保有本始挡液板的挡液效验以及减少透气性以废除真空以缩小因真空吸板引导的基板刮伤大概破片危害等重要上风。

为了达到上述的实行手段本创造提出一种挡液板构造实用于一湿式蚀刻机挡液板构造包括有一第一挡板、一与第一挡板结合的第二挡板以及一与第二挡板结合的第三挡板其重要特性在于:第二挡板具备复数个贯穿第二挡板且错位树立的透露孔。

如上所述的挡液板构造个中第一挡板与第二挡板呈正接树立且第二挡板与第三挡板呈正接树立。

如上所述的挡液板构造个中第一挡板、第二挡板与第三挡板围设成一凹槽的态样。

如上所述的挡液板构造个中第二挡板的长度介于10厘米(centimetercm)至15厘米(cm)之间。

如上所述的挡液板构造个中透露孔的孔径小于3毫米(millimetermm)。

如上所述的挡液板构造个中透露孔为千鸟陈设大概矩阵陈设等个中的一种陈设办法。

如上所述的挡液板构造个中透露孔为直通孔大概斜锥孔等个中的一种态样大概二者的混共。

如上所述的挡液板构造个中透露孔具备一第一面面以及一第二壁面且第二挡板具备一下表面当透露孔为斜锥孔态样时第一面面与下表面的第一夹角不共于第二壁面与下表面的第二夹角。

如上所述的挡液板构造个中当透露孔为斜锥孔态样时透露孔的上孔径与下孔径不十分。

如上所述的挡液板构造个中当透露孔为斜锥孔态样时透露孔的上孔径小于下孔径。

如上所述的挡液板构造个中当透露孔为斜锥孔态样时透露孔由第二挡板的下表面往进取表面的目标渐缩。

其他为了达到上述的实行手段本创造另提出一种蚀刻设备树立于一湿式蚀刻机的一槽体内蚀刻设备起码包括有一如上所述的挡液板构造、一基板、一输送安装以及一风刀安装;基板树立于挡液板构造的下方;输送安装树立于基板的下方输送安装包括有起码一滚轮个中滚轮与基板交战以运行基板;风刀安装树立于挡液板构造的一端部风刀安装包括有一树立于基板上方的第一风刀以及一树立于基板下方的第二风刀个中第一风刀与第二风刀分别吹出一气体至基板。

如上所述的蚀刻设备个中蚀刻设备可进一步树立有一喷洒安装喷洒安装相闭于于风刀安装一端而树立于挡液板构造的另一端部。

如上所述的蚀刻设备个中喷洒安装喷洒一药液至基板上。

如上所述的蚀刻设备个中挡液板构造与基板的笔直隔绝介于8mm至15mm之间。

如上所述的蚀刻设备个中滚轮呈顺时针目标转化并戴动基板由喷洒安装下端部往向风刀安装的第一风刀下端部的目标挪动。

如上所述的蚀刻设备个中气体离开第一风刀与第二风刀的目标分别与基板的法线目标夹设有一第三夹角。

如上所述的蚀刻设备个中第三夹角介于20度至35度之间。

再者为了达到上述实行手段本创造另研拟一种蚀刻办法于一湿式蚀刻机的一槽体内运行;开始树立一挡液板构造个中挡液板构造树立有复数个透露孔;接着运用一树立于挡液板构造下方的输送安装输送一基板以经过一喷洒安装进行一药液喷洒;连接运用一树立于挡液板构造下方的风刀安装闭于基板吹出一气体以使基板搞燥;结果气体经过透露孔透露。

如上所述的蚀刻办法个中输送安装借由起码一呈顺时针目标转化的滚轮戴动基板由喷洒安装的下端部往向风刀安装的第一风刀的下端部的目标挪动。

如上所述的蚀刻办法个中风刀安装分别借由一树立于该输送安装的上端部的第一风刀与一树立于该输送安装的下端部的第二风刀往向基板的上表面与下表面吹送气体。

借此本创造的挡液板构造与以之制备的蚀刻设备及蚀刻办法重要借由具备复数个透露孔的挡液板构造配搭风刀安装的硬体安排灵验使风刀安装吹出的气体得以经过透露孔透露并运用(水点的表面弛力局面预防(水点由透露孔降落形成基板蚀刻不均等格外 格外局面真实达到保有本始挡液板的挡液效验以及减少透气性以废除真空以缩小因真空吸板引导的基板刮伤大概破片危害等重要上风。

附图证明

图1:顽固挡液板构造的完全树立表示图。

图2:本创造挡液板构造其一较好实行例的完全构造表示图。

图3:本创造挡液板构造其一较好实行例的透露孔陈设表示图。

图4:本创造挡液板构造其二较好实行例的透露孔陈设表示图。

图5:本创造挡液板构造其三较好实行例的透露孔陈设表示图。

图6:本创造蚀刻设备其一较好实行例的完全构造表示图。

图7:本创造蚀刻设备其一较好实行例的挡液板构造运作局部夸大图。

图8:本创造蚀刻设备其一较好实行例的挡液板构造共同风刀安装表示图。

图9:本创造蚀刻设备其一较好实行例的透露孔的表面弛力局部夸大图。

图10:本创造蚀刻设备其二较好实行例的挡液板构造共同风刀安装表示图。

图11:本创造蚀刻设备其三较好实行例的挡液板构造共同风刀安装表示图。

图12:本创造挡液板构造其二较好实行例的透露孔的表面弛力局部夸大图。

图13:本创造蚀刻办法的办法过程图。

图号证明:

顽固挡液板构造

a挡液板构造

b风刀

c气体

本创造

1蚀刻设备

10挡液板构造

11第一挡板

12第二挡板

121透露孔

1211第一面面

1212第二壁面

122下表面

123上表面

13第三挡板

20基板

30输送安装

31滚轮

40风刀安装

41第一风刀

42第二风刀

43气体

50喷洒安装

51药液

s1办法一

s2办法二

s3办法三

s4办法四

h长度

θ夹角

θ1第一夹角

θ2第二夹角

θ3第三夹角

θ4交战角

a0孔径

a1上孔径

a2下孔径

w、w1、w2隔绝。

简直实行办法

开始请参阅图2与图3所示为本创造挡液板构造其一较好实行例的完全构造表示图以及透露孔陈设表示图个中本创造的挡液板构造10实用于一湿式蚀刻机(图式未标示)该挡液板构造10包括有一第一挡板11、一与该第一挡板11结合的第二挡板12以及一与该第二挡板12结合的第三挡板13其重要特性在于:该第二挡板12具备复数个贯穿该第二挡板12且错位树立的透露孔121。

该第一挡板11与该第二挡板12呈正接树立且该第二挡板12与该第三挡板13呈正接树立以使该第一挡板11、该第二挡板12与该第三挡板13围设成一凹槽的态样在一实行例中该第一挡板11、该第二挡板12与该第三挡板13可认为一体成形个中该第二挡板12的长度h介于10cm至15cm之间而该等开设于该第二挡板12上的透露孔121可呈千鸟陈设大概矩阵陈设等个中的一种陈设的态样且该透露孔121可为直通孔大概斜锥孔等个中的一种态样大概二者的混共;在本创造其一较好实行例中开设于该第二挡板12上的透露孔121呈千鸟陈设的直通孔态样且位于普遍列的透露孔121之间具备沟通的隔绝(比方:图3中所示的w)个中该透露孔121的一孔径a0最佳小于3mm以使该透露孔121的孔洞内爆发毛细局面若该第二挡板12的该上表面123有(水点展示时则该(水点不至于经过该透露孔121降至下表面然而依然不妨供给氛围透露的管道以借由该透露孔121平稳该第二挡板12上、下二端部的压力。

其他请一并参阅图4与图5所示为本创造挡液板构造其二较好实行例的透露孔陈设表示图以及其三较好实行例的透露孔陈设表示图在本创造其二较好实行例中开设于该第二挡板12上的透露孔121亦呈千鸟陈设的直通孔态样且位于普遍列的透露孔121之间具备沟通的隔绝比方:图4中所示的w1个中w1大于图3的w大概图5的w2个中w2大于w而该透露孔121的一孔径a0亦小于3mm以使该透露孔121的孔洞内爆发毛细局面若该第二挡板12的该上表面123有(水点展示时则该(水点不至于经过该透露孔121降至下表面然而依然不妨供给氛围透露的管道以借由该透露孔121平稳该第二挡板12上、下二端部的压力。

其他请参阅图6与图7所示为本创造蚀刻设备其一较好实行例的完全构造表示图以及挡液板构造运作局部夸大图个中本创造的蚀刻设备1树立于一湿式蚀刻机的一槽体(图式未标示)内该蚀刻设备1包括有一如上所述的挡液板构造10、一输送安装30、一基板20以及一风刀安装40个中本创造重要借由具备复数个透露孔121的挡液板构造10配搭该风刀安装40的硬体安排灵验使该风刀安装40吹出的气体43得以由该复数个透露孔121透露并运用(水点的表面弛力局面预防(水点由该复数个透露孔121降落形成该基板20的蚀刻不均等格外 格外局面真实达到保有本始挡液板的挡液效验以及减少透气性以废除真空以缩小因真空吸板而引导该基板20刮伤大概破片危害等重要上风。

该蚀刻设备1可进一步树立有一喷洒安装50该喷洒安装50树立于该挡液板构造10的一端部且该基板20树立于该挡液板构造10的下方约8毫米至15毫米之间个中该喷洒安装50用以喷洒一药液51至该基板20上以闭于该基板20进行一湿式蚀刻制程;由上述的证明挡液板构造10的树立等于为了制止喷洒安装50的药液51持续闭于已经完成蚀刻办法的基板20再进行蚀刻制程故依然会有少许的药液51喷洒在挡液板构造10上而留住该药液51的(水点而该药液51的(水点亦不行降入该基板20上以制止该基板20的蚀刻不均的局面爆发。

该输送安装30树立于该基板20的下方该输送安装30包括有起码一滚轮31个中该滚轮31与该基板20交战以运行该基板20;在本创造其一较好实行例中该输送安装30用以承载并运送起码一该基板20于该湿式蚀刻机内运行并接收湿式蚀刻的喷洒安装50的制程运作故该输送安装30具备一驱效果构(图式未标示)以启动该滚轮31转化比方:顺时针转化以戴动该基板20由该喷洒安装50下端部往向该风刀安装40的该第一风刀41下端部的目标挪动。

该风刀安装40树立于该挡液板构造10的一端部该风刀安装40包括有一树立于该基板20上方的第一风刀41以及一树立于该基板20下方的第二风刀42个中该第一风刀41与该第二风刀42分别吹出一气体43至该基板20以将该基板20上的一药液51戴往与差异于该基板20的前进目标以使该基板20上该药液51缩小个中该气体43离开该第一风刀41与该第二风刀42的目标分别与该基板20的法线目标夹设有一第三夹角θ3且该第三夹角θ3介于20度至35度之间。

其他请一并参阅图8与图9所示为本创造蚀刻设备其一较好实行例的挡液板构造共同风刀安装表示图以及透露孔的表面弛力局部夸大图个中该透露孔121为直通孔的态样当该风刀安装40的第一风刀41与该第二风刀42为了缩小该基板(本图式未标示)上所残留的药液51而吹出该气体43时该气体43遇到该挡液板构造10后局部会往该复数个透露孔121震动并往向该第二挡板12的该上表面123透露而出(如图8所示)除了保有本有挡液板的预防该药液51喷溅而形成的蚀刻不均局面亦可达到以破真空的本理制止该气体43在该基板20四周产生涡流而形成真空吸引问题;其他如前文所述必定制止由该喷洒安装50喷洒而出的药液51滴入该基板20上而形成蚀刻不均的问题因此该复数个透露孔121的孔径a0必须要脚够小比方:孔径a0小于3mm即可因毛细局面的效率亦即该(水点于该透露孔121孔洞内的夹角θ等于该(水点与该第二挡板12的该上表面123所夹的交战角θ4而达到预防位于该第二挡板12的该上表面123的药液51(水点经过该复数个透露孔121滴下至该基板20上(如图9所示)。

再者请再参阅图10至图12所示为本创造蚀刻设备其二较好实行例的挡液板构造共同风刀安装表示图、其三较好实行例的挡液板构造共同风刀安装表示图以及透露孔的表面弛力局部夸大图个中该透露孔121为直通孔与斜锥孔混共的态样(如图10所示)大概是理想为斜锥孔的态样(如图11所示)个中该透露孔121具备一第一面面1211与一第二壁面1212且该第二挡板12具备一下表面122当该透露孔121为斜锥孔的态样时该第一面面1211与该下表面122的第一夹角θ1不共于该第二壁面1212与该下表面122的第二夹角θ2亦即该第一面面1211与该第二壁面1212可不彼此平行然而应制止该第一夹角θ1与该第二夹角θ2差异过大而形成毛细局面废除;其他当该透露孔121为斜锥孔态样时该透露孔121的上孔径a1与下孔径a2亦不十分且该上孔径a1小于该下孔径a2大概该透露孔121由该第二挡板12的下表面122往进取表面123的目标渐缩以保护毛细局面而制止该药液51滴入该基板20上而形成蚀刻不均的问题。

当该风刀安装40的第一风刀41与该第二风刀42为了缩小该基板(本图式未标示)上所残留的药液51而吹出该气体43时hao123分类目录以保护毛细局面而制止该药液51滴入该基板20上而形成蚀刻不均的问题。

当该风刀安装40的第一风刀41与该第二风刀42为了缩小该基板(本图式未标示)上所残留的药液51而吹出该气体43时该气体43遇到该挡液板构造10后局部会往该复数个透露孔121震动并往向该第二挡板12的该上表面123透露而出(如图10与图11所示)除了保有本有挡液板的预防该药液51喷溅而形成的显影不均局面亦可达到制止该气体43在该基板20四周产生涡流而形成真空吸引问题;为了必定制止由该喷洒安装50喷洒而出的药液51滴入该基板20上而形成蚀刻不均的问题故该复数个透露孔121的孔径a0必须要脚够小比方:孔径a0小于3mm即可因毛细局面的效率亦即该(水点于该透露孔121孔洞内的夹角θ等于该(水点与该第二挡板12的该上表面123所夹的交战角θ4而达到预防位于该第二挡板12上表面的药液51(水点经过该复数个透露孔121滴下至该基板20上(如图12所示)。

另请参阅图13所示为本创造蚀刻办法的办法过程图个中本创造的蚀刻办法重要包括有下列办法。

办法一s1:树立一挡液板构造10个中该挡液板构造10树立有复数个透露孔121;该挡液板构造10包括有一第一挡板11、一与该第一挡板11结合的第二挡板12以及一与该第二挡板12结合的第三挡板13个中该第二挡板12具备复数个贯穿该第二挡板12且错位树立的透露孔121该复数个透露孔121呈千鸟陈设的直通孔态样且位于普遍列的透露孔121之间具备沟通的隔绝个中该透露孔121的孔径a0最佳小于3mm以使该透露孔121的孔洞内爆发毛细局面若该第二挡板12的该上表面123有(水点展示时则该(水点不至于经过该透露孔121降至下表面122然而依然不妨供给氛围透露的管道以借由该透露孔121平稳该第二挡板12上、下二端部的压力。

办法二s2:运用一树立于该挡液板构造10下方的输送安装30输送一基板20以经过一喷洒安装50进行一药液51喷洒;在本创造其一较好实行例中该喷洒安装50树立于该挡液板构造10的一端部且该基板20树立于该挡液板构造10的下方约8毫米至15毫米之间个中该喷洒安装50用以喷洒一药液51至该基板20上以闭于该基板20进行一湿式蚀刻制程该挡液板构造10的树立等于为了制止该喷洒安装50的药液51持续闭于已经完成蚀刻办法的基板20再进行蚀刻制程故依然会有少许的药液51喷洒在挡液板构造10上而留住该药液51的(水点而该药液51的(水点亦不行降入该基板20上以制止基板20的蚀刻不均的局面爆发;其他该输送安装30用以承载并运送起码一该基板20于该湿式蚀刻机内运行并接收湿式蚀刻的喷洒安装50的制程运作故该输送安装30具备一驱效果构以启动该滚轮31转化以戴动该基板20由该喷洒安装50下端部往向该风刀安装40的该第一风刀41下端部的目标挪动。

办法三s3:运用一树立于该挡液板构造10下方的风刀安装40闭于该基板20吹出一气体43以使该基板20搞燥;在本创造其一较好实行例中该风刀安装40树立于该挡液板构造10的一端部该风刀安装40包括有一树立于该基板20上方的第一风刀41以及一树立于该基板20下方的第二风刀42个中该第一风刀41与该第二风刀42分别吹出一气体43至该基板20以将该基板20上的该药液51戴往与差异于该基板20的前进目标以使该基板20降矮该药液51残留个中该气体43离开该第一风刀41与该第二风刀42的目标分别与该基板20的法线目标夹设有一第三夹角θ3且该第三夹角θ3介于20度至35度之间。

办法四s4:该气体43经过该复数个透露孔121透露;在本创造其一较好实行例中当该风刀安装40的第一风刀41与该第二风刀42为了缩小该基板20上所残留的药液51而吹出该气体43时该气体43遇到该挡液板构造10后局部会往该复数个透露孔121震动并往向该第二挡板12的该上表面123透露而出除了保有本有挡液板的预防该药液51喷溅而形成的蚀刻不均局面亦可达到以破真空的本理制止该气体43在该基板20四周产生涡流而形成真空吸引问题;其他为了制止由该喷洒安装50喷洒而出的药液51滴入该基板20上而形成蚀刻不均的问题因此该复数个透露孔121的孔径a0必须要脚够小比方:孔径a0小于3mm即可因毛细局面的效率亦即该(水点于该透露孔121孔洞内的夹角θ等于该(水点与该第二挡板12的该上表面123所夹的交战角θ4而达到预防位于该第二挡板12的该上表面123的药液51(水点经过该复数个透露孔121滴下至该基板20上。

由上述的实行证明可知本创造的挡液板构造与以之制备的蚀刻设备及蚀刻办法与现有本领相较之下本创造具备以下便宜。

本创造的挡液板构造与以之制备的蚀刻设备及蚀刻办法重要借由具备复数个透露孔的挡液板构造配搭风刀安装的硬体安排灵验使风刀安装吹出的气体得以经过透露孔透露并运用(水点的表面弛力局面预防(水点由透露孔降落形成基板蚀刻不均等格外 格外局面真实达到保有本始挡液板的挡液效验以及减少透气性以废除真空以缩小因真空吸板引导的基板刮伤大概破片危害等重要上风。

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